內(nèi)部量子效率（Internal Quantum Efficiency, IQE）也是計算光子-電子的轉(zhuǎn)換效率。與外部量子效率EQE不同的是，其計算的是入射到太陽能電池內(nèi)部的光子數(shù)，以及其所產(chǎn)生的電子數(shù)。假設(shè)總共有10個光子入射太陽能電池，在太陽能電池表面有2個光子被反射。那么進(jìn)到電池材料內(nèi)部的光子數(shù)是（10-2）=8個光子而產(chǎn)生6個電子。那么此電池的內(nèi)部量子效率。IQE=產(chǎn)生電荷數(shù)/入射到材料內(nèi)部的光子數(shù)=6/(10-2)=75%。
量子效率QE（Quantum Efficiency），或稱光譜響應(yīng)，或光電轉(zhuǎn)化效率IPCE 等，廣義來說，就是太陽能電池的光電特性在不同波長光照條件下的數(shù)值，所謂光電特性包括：光生電流、光導(dǎo)等。量子效率QE和光電轉(zhuǎn)化效率IPCE均是指太陽能電池產(chǎn)生的電子-空穴對數(shù)目與入射到太陽能電池表面的光子數(shù)目之比。通常，我們所說的太陽能電池量子效率QE都是指外量子效率EQE，也就是說太陽能電池表面的光子反射損失是不被考慮的。
內(nèi)部量子效率的直接躍遷過程比間接躍遷過程簡單，其內(nèi)量子效率取決于少數(shù)載流子的輻射復(fù)合與非輻射復(fù)合的壽命。直接躍遷的內(nèi)量子效率可以表示為從上式可見，提高內(nèi)量子效率主要在于提高材料的純度、完整性和改進(jìn)PN結(jié)制作工藝的合理性，以降低非輻射復(fù)合中心的濃度。
間接躍遷的復(fù)合輻射過程是通過一些發(fā)光中心來實現(xiàn)的，這就使得過程復(fù)雜化，間接躍遷過程的內(nèi)量子效率可粗略地表示為恰當(dāng)選擇發(fā)光中心，使它具有較高的濃度及適當(dāng)?shù)碾婋x能和大的復(fù)合截面，并盡可能提高材料純度和完整性，以降低熔滅中心的濃度。
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